サンプリング機の仕様（小容量タイプ）

1.収納できる粉体量：5cc-20cc

2.粉体攪拌方式：上限上下加振法域（解砕器あり）

3.攪拌容器材質：ステンレス＆テフロン

4.粉体：カーボン , 酸化物

5.到達圧力：1.3×1^-5Pa以下

6.蒸着源：最大3源：同時照射,任意照射

7.加熱：無し

8.ガス導入有：酸素、窒素、アルゴン

注記）基板も対応可能（加熱：300℃）