サンプリング機の仕様（標準型）

1.収納できる粉体量：20cc-50cc

2.粉体攪拌方式：回転式（解砕器あり）

3.攪拌容器材質：ステンレス

4.粉体：カーボン（酸化物要相談）

5.到達圧力：1.3×1^-5Pa以下

6.蒸着源：最大3源：同時照射,任意照射

7.加熱：赤外線加熱有：最大300℃

記）基板も対応可能　加熱：最大300℃